CKD硅氧烷过滤器、臭氧过滤器去除器SFX系列

专用于硅氧烷吸附及臭氧分解的去除器
01
1台即可去除2种污染物
采用活性碳滤芯,1台即可去除硅氧烷和臭氧。
02
可对应高压、大流量
压缩空气、氮气在保持加压状态下,可以大流量使用。
03
高去除率
99%以上的硅氧烷吸附性能、臭氧分解性能。
04
省空间
可连接本公司的调质元件及模块,实现省配线。
用途示例
电子部件・光学部件制造生产线
半导体制造系统

二次电池制造系统

专用于硅氧烷吸附及臭氧分解的去除器
01
1台即可去除2种污染物
采用活性碳滤芯,1台即可去除硅氧烷和臭氧。
02
可对应高压、大流量
压缩空气、氮气在保持加压状态下,可以大流量使用。
03
高去除率
99%以上的硅氧烷吸附性能、臭氧分解性能。
04
省空间
可连接本公司的调质元件及模块,实现省配线。
用途示例
电子部件・光学部件制造生产线
半导体制造系统

二次电池制造系统