CKD硅氧烷过滤器、臭氧过滤器去除器SFX系列

专用于硅氧烷吸附及臭氧分解的去除器


01


1台即可去除2种污染物



采用活性碳滤芯,1台即可去除硅氧烷和臭氧。


02


可对应高压、大流量



压缩空气、氮气在保持加压状态下,可以大流量使用。


03


高去除率



99%以上的硅氧烷吸附性能、臭氧分解性能。


04


省空间



可连接本公司的调质元件及模块,实现省配线



用途示例


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电子部件・光学部件制造生产线 


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半导体制造系统 


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二次电池制造系统 


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